Indústria de semicondutores e células solares

Indústria de semicondutores e células solares

Indústria de semicondutores e células solares

O que é indústria de semicondutores e células solares?

Defeitos na estrutura cristalina de semicondutores causam emissões de fótons de baixa intensidade. As emissões de fótons de baixa intensidade acontecem exatamente no campo mais sensível das câmeras SWIR equipadas com sensores InGaAs ou HgCdTe de área termoeletricamente refrigerados.

Esses sensores são, portanto, bastante adequados para análises de falhas e tarefas de controle de qualidade na fabricação de semicondutores. Os resultados positivos desses procedimentos são migrados com êxito para a caracterização econômica de dispositivos de nanotecnologia.

Como os imageadores SWIR são usados na indústria de semicondutores e células solares?

Inicialmente, os imageadores SWIR foram usados na indústria de telecomunicações, pois trabalham na faixa de luz de 1.550 nm, normalmente usada em fibras ópticas. Hoje em dia, o imageamento SWIR é usado em uma grande variedade de aplicações na indústria de semicondutores e células solares:

  • Microscopia de emissão: a microscopia de emissão de fótons, ou imageamento por eletroluminescência, é uma técnica relativamente nova de análise de falhas para detectar a radiação fotônica proveniente de um local com defeito, principalmente devido a mecanismos de recombinação de portadores.
  • Análise de falhas: a análise de falhas direcionada geralmente é realizada em uma sequência de cinco etapas: primeiro a validação da falha, seguida pela localização do defeito. Em seguida, o local do defeito é preparado e marcado para análise; a natureza do defeito é determinada e, por fim, a investigação de suas causas é iniciada.
  • Inspeção de células solares: o imageamento SWIR permite ver "através" de wafer de silício e, portanto, permite inspecionar defeitos e falhas em células solares, impossíveis de detectar e visualizar por outros métodos.

O que oferecemos?

Oferecemos a série Bobcat e a Cougar-640 para essas aplicações. Nossas Bobcat-640-GigE e Bobcat-640CL são câmeras SWIR InGaAs bastante pequenas e leves. Elas consomem pouquíssima energia e são mais baratas que outras câmeras SWIR refrigeradas. Por isso os clientes estão sempre encontrando novas aplicações para integração de sistemas em que custo, tamanho e consumo de energia são fundamentais. A Bobcat responde à necessidade de flexibilidade em termos de interfaces de dados e controle com as interfaces GigE ou CameraLink.

A Cougar-640 foi lançada para análise de falhas usando fotoemissão e emissão de luz. Essas aplicações exigentes, em que níveis de luminosidade muito baixos precisam ser medidos, exigem câmeras com corrente escura bastante baixa, o menor ruído e a melhor resposta na faixa SWIR. Todas essas características estão agora combinadas em uma única câmera, a Cougar-640.

Que recursos são necessários?

  • Fácil conectividade
    Oferecemos diversas interfaces diferentes para uma fácil integração em seu sistema
  • Alta taxa de quadros
    As altas taxas de quadros nos permitem capturar objetos que se movem rapidamente
  • Alta resolução de imagem
    A quantidade de pixels tem um importante impacto sobre a imagem. Quanto maior a resolução, mais detalhada a imagem
  • Baixo nível de ruído e alta faixa dinâmica
    O baixo nível de ruído garante uma sensibilidade elevada, enquanto a alta faixa dinâmica resulta em imagens de alto contraste
  • Estabilização da temperatura ou refrigeração do sensor
    Uma câmera SWIR refrigerada tem corrente escura mais baixa, alcança níveis inferiores de ruído e tem faixa dinâmica mais elevada. Em nossa linha de produtos, diversas câmeras SWIR apresentam estabilização TE1, refrigeração TE1, refrigeração TE3, refrigeração TE4 ou até mesmo refrigeração por LN2
  • Tamanho pequeno do pixel
    Pixels menores resultam em detectores menores e, consequentemente, em menor custo de produção dos sensores, componentes ópticos menores e, finalmente, câmeras menores.

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Documentos

Notas de aplicação
SWIR cameras for timely defect detection ensure higher yields in solar cell production. SWIR cameras for timely defect detection ensure higher yields.
Comunicados de imprensa
Xenics at Vision 2012: Cougar-640 SWIR camera is LN2-cooled for lowest noise and dark current We demonstrate the Cougar-640 LN2-cooled SWIR camera at Vision 2012. This camera is perfectly suited for extreme low-light-level applications (2012)
Bobcat-640: smallest GigE Vision/CameraLink SWIR camera with low noise We demonstrate our Bobcat-640-GigE/CL at Vision 2012. The Bobcat-640 is the smallest GigE Vision/CameraLink SWIR camera with low noise (2012)
Bobcat-640: smallest SWIR low noise CL/GigE camera now in production We released our Bobcat-640-GigE and Bobcat-640-CL SWIR cameras to full-qualification production (2014)
Papeis brancos
Short-wave infrared cameras in semiconductor inspection applications The semiconductor industry has grown to become one of the largest industries in the world. Semiconductor industry covers a wide variety of applications, ranging from processor and memory integrated circuits for PCs or mobile devices, to solar cells. We look at several uses of SWIR (short-wave infrared) cameras in semiconductor inspection applications.

World's first InGaAs camera photon emission microscope

Xenics enabled Semicaps to realize the world's first InGaAs camera photon emission microscope in 2004. Since then Xenics and sInfraRed have supported us in our endeavors for better sensitivity and resolution in photon and thermal emission microscopy.

Chua Choon Meng, CEO Semicaps